 |
대구대 반도체교육원 반도체부트캠프센터가 5월 28일 ‘반도체AI융합공정실’ 개소식 및 현판식을 개최했다. 사진=대구대 제공 |
[대학저널 온종림 기자] 대구대학교 반도체교육원 반도체부트캠프센터가 지난 5월 28일 공학 5관 5501호에서 ‘반도체AI융합공정실’ 개소식 및 현판식을 개최했다.
‘반도체AI융합공정실’은 학생들이 실제 산업 현장 수준의 실무 역량을 갖출 수 있도록 제조 공정부터 정밀 분석까지 전 과정을 아우르는 최신 장비들을 유기적으로 구축했다. 특히 교육 및 연구 효율성을 극대화하기 위해 전 공정에 AI 기술을 접목했다.
공정실은 '반도체 공정 구역'과 '정밀 분석 구역'으로 나뉘어 운영된다. 반도체 공정 구역에는 박막 형성을 실습하고 AI 기반 증착 패턴 예측 모델링을 연구하는 ▲증착 공정(CVD) 설비, 에칭 및 세정 공정 최적화를 위한 ▲화학 공정 설비(Fume Hood)가 마련됐다.
기존 마스크 방식의 단점을 보완한 최신 ▲마스크리스 노광 장비(Maskless Photolithography)를 도입해 미세 패턴 형성 기술을 습득하고, AI 기반 패턴 설계 및 수율 향상 연구를 진행한다.
정밀 분석 구역에서는 ▲광 특성 분석 장비(PL/Raman Spectrometer)에서 얻은 소재 데이터를 AI 모델로 분석해 소재 분석 시간과 정확도를 높이는 ‘AI 융합 분석’이 이루어지며, ▲전기 특성 분석 장비(Probe Station)를 활용해 소자의 전기적 성능을 측정·평가하고 AI 데이터 분석을 통해 성능을 예측하는 연구를 수행하게 된다.
김경기 반도체교육원장은 "반도체AI융합공정실은 학생들이 차세대 반도체 산업을 선도할 핵심 융합 인재로 성장하는 주춧돌이 될 것"이라고 전했다.
대구대 반도체부트캠프센터는 이번 공정실 개소를 계기로 산업계 수요에 맞춘 현장 중심 실무 교육 체계를 더욱 공고히 하고, 미래 반도체 분야의 거점 교육기관으로서 역할을 수행해 나갈 계획이다.
[ⓒ 대학저널. 무단전재-재배포 금지]
