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국립한밭대 산학협력단은 지난 9월 ㈜뮤텍코리아와 ‘단촬상 타원분광법을 이용한 반도체 검사 장치’(등록특허 제10-2515593호)에 대한 기술이전 계약을 체결한 후, 최근 등록특허 양도 방식으로 기술이전을 완료했다고 14일 밝혔다.
이번에 이전된 기술은 반도체 제조공정의 박막 두께 및 광학적 특성을 분석하는 타원분광법을 기반으로, 단일 촬상 방식을 적용한 정밀 광학 검사 기술이다.
기존 타원분광 계측 방식과 비교해 측정 시간 단축 및 시스템 구성 간소화에 기여할 수 있는 기술로, 반도체 제조공정에서 요구되는 고속·고정밀 광학 계측 장비에 활용될 것으로 기대된다.
기계공학과 노진성 교수는 “이번 기술이전은 대학의 연구 성과가 실제 산업 현장의 반도체 검사 장비 개발로 이어지는 의미 있는 성과”라며, “앞으로도 국내 기업과의 산학협력을 강화해 반도체 검사.계측 기술의 국산화와 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”고 전했다.
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