[대학저널 신효송 기자] 광운대학교(총장 유지상) 전기공학과 4학년 강명훈 씨가 공동 제1저자로 참여한 논문이 SCI(과학기술논문인용색인) Q1급 국제학술지인 ‘Nanotechnology’에 온라인 게재됐다.
논문 제목은 ‘Atomic Layer Deposited High-k Dielectric on Graphene by Functionalization through Atmospheric Plasma Treatment(상압 플라즈마 처리를 통해 활성화된 그래핀 표면 위 원자층 증착 공정으로 형성된 고유전율 유전체)’이다.
본 논문에서는 그래핀 소재를 다양한 전자소자에 적용하기 위해 그래핀 위 고품질 박막 증착 기술을 제안한다. 상압 플라즈마 공정을 이용해 구조적 및 전기적 성능 저하를 최소화하면서 그래핀 표면을 활성화했다. 활성화된 그래핀 표면 위에 원자층 증착 기술을 이용, 고품질의 ZrO2 유전 박막을 형성함으로써 그래핀 표면에서도 화학적 결합에 기반하는 증착 기술을 응용할 수 있음을 보였다.
강명훈 씨는 "앞으로 대학원에 진학해 그래핀 기반 고민감도 바이오 센서 및 전자소자를 연구하고 스타트업에 도전하고 싶다”라며 “많은 학부생들이 학과 교수님들의 연구실에서 다양한 연구와 경험을 쌓고 진로 선택의 폭을 넓혔으면 좋겠다”고 말했다.
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