지난 27일 준공된 한양스마트반도체나노팹 클린룸에서 교숭와 연구원들이 실험장비를 가동해 보고 있다. 사진=한양대 제공

 

[대학저널 온종림 기자] 한양대학교가 지난 27일 한양스마트반도체나노팹 클린룸 준공을 했다.

신설된 클린룸은 618.15m2 면적에 청정도1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐다. 클린룸에는 노광장비와 증착장비, 식각장비. 열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.

한양대는 지난해 7월 한양스마트반도체연구원(HY-ISS)을 신설해 반도체 산업 경쟁력 확보에 나섰으며, 이번 클린룸 준공을 통해 인적·물적 인프라를 겸비한 반도체 연구의 핵심 기관으로 거듭나게 되었다.

안진호 반도체연구원장은 “신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것”이라며 “지속적인 교육과 연구를 통해 국가와 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”고 말했다.

 

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